Numéro de référence
ISO 14237:2010
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Norme internationale
ISO 14237:2010
Analyse chimique des surfaces — Spectrométrie de masse des ions secondaires — Dosage des atomes de bore dans le silicium à l'aide de matériaux dopés uniformément
Edition 2
2010-07
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Publiée (Edition 2, 2010)
Cette publication a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2021. Cette édition reste donc d’actualité.

ISO 14237:2010

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Résumé

L'ISO 14237:2010 spécifie une méthode de spectrométrie de masse des ions secondaires pour la détermination de la concentration atomique de bore dans le silicium monocristallin au moyen de matériaux dopés uniformément, étalonnés par un matériau de référence certifié à bore implanté. Cette méthode est applicable au bore dopé uniformément dans la gamme de concentrations de 1 x 1016 atomes/cm3 à 1 x 1020 atomes/cm3.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2010-07
    Stade
    : Norme internationale confirmée [90.93]
  • Edition
     : 2
    Nombre de pages
     : 19
  • Comité technique :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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