Norme internationale
ISO 16700:2016
Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Lignes directrices pour l'étalonnage du grandissement d'image
Numéro de référence
ISO 16700:2016
Edition 2
2016-08
Norme internationale
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ISO 16700:2016
65375
Indisponible en français
Publiée (Edition 2, 2016)
Cette norme a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2023. Cette édition reste donc d’actualité.

ISO 16700:2016

ISO 16700:2016
65375
Langue
Format
CHF 96
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Résumé

ISO 16700:2016 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. It does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.

Informations générales

  •  : Publiée
     : 2016-08
    : Norme internationale confirmée [90.93]
  •  : 2
  • ISO/TC 202/SC 4
    37.020 
  • RSS mises à jour

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