Reference number
ISO 21360-6:2023
© ISO 2024
International Standard
ISO 21360-6:2023
Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 6: Cryogenic vacuum pumps
Edition 1
2023-12
Preview
Indisponible en français
Publiée (Edition 1, 2023)

ISO 21360-6:2023

Langue
Format
CHF 63
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Résumé

This document specifies methods for measuring the volume flow rate, maximum throughput, pumping capacity, base pressure cryogenic vacuum pump, cooldown time and crossover value of cryogenic vacuum pumps.

It is applicable to two-stage, closed-loop gaseous helium cryogenic vacuum pumps, which can be directly flanged to a vacuum chamber.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2023-12
    Stade
    : Norme internationale publiée [60.60]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 112
    ICS :
    23.160 
  • RSS mises à jour

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