Тезис
ISO 14237:2010 specifies a secondary-ion mass spectrometric method for the determination of boron atomic concentration in single-crystalline silicon using uniformly doped materials calibrated by a certified reference material implanted with boron. This method is applicable to uniformly doped boron in the concentration range from 1 x 1016 atoms/cm3 to 1 x 1020 atoms/cm3.
Общая информация
-
Текущий статус: ОпубликованоДата публикации: 2010-07Этап: Подтверждение действия международного стандарта [90.93]
-
Версия: 2
-
Технический комитет :ISO/TC 201/SC 6ICS :71.040.40
- RSS обновления
Жизненный цикл
-
Ранее
ОтозваноISO 14237:2000
-
Сейчас
ОпубликованоISO 14237:2010
Стандарт, который пересматривается каждые 5 лет
Этап: 90.93 (Подтверждено)-
00
Предварительная стадия
-
10
Стадия, связанная с внесением предложения
-
20
Подготовительная стадия
-
30
Стадия, связанная с подготовкой проекта комитета
-
40
Стадия, связанная с рассмотрением проекта международного стандарта
-
50
Стадия, на которой осуществляется принятие стандарта
-
60
Стадия, на которой осуществляется публикация
-
90
Стадия пересмотра
-
95
Стадия, на которой осуществляется отмена стандарта
-
00