Reference number
ISO 14237:2010
International Standard
ISO 14237:2010
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
Edition 2
2010-07
Preview
ISO 14237:2010
44882
недоступно на русском языке
Опубликовано (Версия 2, 2010)
Последний раз этот публикация был пересмотрен в  2021. Поэтому данная версия остается актуальной.

ISO 14237:2010

ISO 14237:2010
44882
Язык
Формат
CHF 129
Пересчитать швейцарские франки (CHF) в ваша валюта

Тезис

ISO 14237:2010 specifies a secondary-ion mass spectrometric method for the determination of boron atomic concentration in single-crystalline silicon using uniformly doped materials calibrated by a certified reference material implanted with boron. This method is applicable to uniformly doped boron in the concentration range from 1 x 1016 atoms/cm3 to 1 x 1020 atoms/cm3.

Общая информация

  •  : Опубликовано
     : 2010-07
    : Подтверждение действия международного стандарта [90.93]
  •  : 2
  • ISO/TC 201/SC 6
    71.040.40 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ