Reference number
IEC/TS 62622:2012
Technical Specification
IEC/TS 62622:2012
Artificial gratings used in nanotechnology — Description and measurement of dimensional quality parameters
Edition 1
2012-10
Technical Specification
Preview
IEC/TS 62622:2012
53012
недоступно на русском языке
Опубликовано (Версия 1, 2012)
Последний раз этот публикация был пересмотрен в  2022. Поэтому данная версия остается актуальной.

IEC/TS 62622:2012

IEC/TS 62622:2012
53012
Язык
Формат
CHF 235
Пересчитать швейцарские франки (CHF) в ваша валюта

Тезис

IEC/TS 62622:2012(E), which is a technical specification, specifies the generic terminology for the global and local quality parameters of artificial gratings, interpreted in terms of deviations from nominal positions of grating features, and provides guidance on the categorization of measurement and evaluation methods for their determination. This specification is intended to facilitate communication among manufacturers, users and calibration laboratories dealing with the characterization of the dimensional quality parameters of artificial gratings used in nanotechnology. This specification supports quality assurance in the production and use of artificial gratings in different areas of application in nanotechnology. Whilst the definitions and described methods are universal to a large variety of different gratings, the focus is on one-dimensional (1D) and two-dimensional (2D) gratings.

Общая информация

  •  : Опубликовано
     : 2012-10
    : Подтверждение действия международного стандарта [90.93]
  •  : 1
  • ISO/TC 229
    07.120 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ