Reference number
ISO 20146:2019
© ISO 2024
International Standard
ISO 20146:2019
Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges
Edition 1
2019-01
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No disponible en español
Publicado (Edición 1, 2019)
Esta publicación se revisó y confirmó por última vez en 2024. Por lo tanto, esta versión es la actual.

ISO 20146:2019

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Resumen

This document defines terms related to capacitance diaphragm gauges (CDGs), specifies which parameters have to be given for CDGs, details their calibration procedure and describes which measurement uncertainties have to be considered when operating these gauges.

This document complements ISO 3567 and ISO 27893 when calibrating CDGs and using them as reference standards.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2019-01
    Etapa
    : Norma Internacional confirmada [90.93]
  • Edición
     : 1
    Número de páginas
     : 16
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 112
    ICS :
    23.160 
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