Cette norme a été révisée par ISO 14606:2022
Résumé
ISO 14606:2015 gives guidance on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.
ISO 14606:2015 is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.
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État actuel: AnnuléeDate de publication: 2015-12
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Edition: 2
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- ICS :
- 71.040.40 Méthodes d'analyse chimique
Cycle de vie
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Précédemment
AnnuléeISO 14606:2000
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Actuellement
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Révisée par
PubliéeISO 14606:2022
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